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歩留まり低下の原因が純度の低いフッ化水素に変えたことだとしたら、装置自体が「汚染」されちゃってる訳で…
そうなると装置のクリーニングは不可能。
新しい装置に買い換えるしかない。

LGさん、これはさすがに保証対象外だからね、ウチ(半導体製造装置メーカー)にクレーム持ってこないで下さいね…(´・ω・`)

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