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サムスン電子、“国産”高純度フッ化水素を半導体工程に投入
ttps://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20190904-00034259-hankyoreh-kr

 サムスン電子が、国産の高純度フッ化水素(エッチングガス)を半導体工程の一部のラインに投じることに成功した。
日本産の材料への依存度を低くするために、政府と業界の努力が続いているなかで一部の成果が現れた。

国産材料の投入までには3〜6カ月程度の時間が必要だろうと予想してきた。これに先立ってLGディスプレイも、
国産の高純度フッ化水素を工程に投じることに成功した。
   

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